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Validação Metrológica de Microscópio Eletrônico de Varredura por Comparação Interlaboratorial

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Resumo

 

Este trabalho apresenta os resultados iniciais do interlaboratorial realizado para a técnica de microscopia eletrônica de varredura, uma das mais importantes ferramentas em análise qualitativa, quantitativa e estrutural de materiais. Essa ação faz parte de um plano de adequação dessa técnica analítica às exigências da NBR/ISO/IEC 17025 implantada pela Diretoria de Laboratórios e Infraestruturas de Redes do CPqD com a participação de instituições convidadas, que visou avaliar a atuação dos laboratórios participantes quanto aos mensurandos que dizem respeito a comprimento (dimensão) e energia (normalmente medido em elétron-volt, unidade de energia fora do sistema em relação ao SI e que equivale a 1,602 18 x 10-19 joules).


A intercomparação das medidas realizadas por MEV envolveu mensurandos que são relativos a micromedições, portanto a sua rastreabilidade direta a padrões não é uma atividade trivial. O material utilizado como padrão de referência foi o “X-Checker™ EDS Performance Checker Mounts” da SPI, constituído de três elementos (C, Al, e Cu), além de dois reticulados de referência de alumínio de tamanhos diferenciados.



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